真空ポンプ用のシリコーンオイルは炭化水素系に比べて、耐熱性や耐薬品性に優れており、真空ポンプの機能や信頼性向上に寄与しています。

プラントや各種工場ではシリコーンオイルが封入されたオイルダンパーが採用されており、装置の振動吸収や安全性の保持に寄与しています。

半導体の製造工程では、高温の環境でさまざまなガスや液体が使用されています。そのため、製造装置には、耐熱性・耐薬品性が高く、低分子シロキサンを極限まで抑えたクリーンルーム用のシール材が使われています。

工場内製造設備の潤滑・絶縁・シール、部品の潤滑・防湿・防錆　など